无论样品的大小如何，Agilent 5600LS 大镜台 AFM 都能够交付高分辨率的结果。 多功能 5600LS 是全球唯一一款商用 AFM，结合使用 AFM 和 STM 扫描仪可支持大样品（在空气中）和小样品（在温度控制下,空气中或液体中）的成像。

5600LS 采用可完全寻址的 200 毫米 x 200 毫米镜台和全新的低噪声设计。 真空卡盘可轻松置入直径达 8 毫米，高 30 毫米的样品。 通过重新定位，镜台可容纳 300 毫米的晶片。 5600LS 是研究人员的理想工具，可用于半导体、材料科学、生命科学研究等纳米技术应用。

5600LS 系统可编程电动镜台可快速、精确地定位探头，以进行大小样品的成像和映射。 研究人员可准确地定位和识别感兴趣的区域，储存坐标，并快速、精确地自动重新定位样品以备进一步研究使用。

优势
 方便的适用于8英寸或12英寸的样品
 实现原子级的分辨率
 极其的自动化设计，使用非常简单
 样品台纳米级的步进精度，且全闭环控制
 重复定位精度极高
 特殊的设计，能提供超小的热漂水平

应用
 电子材料
 半导体材料
 数据存储材料
 材料科学
 聚合物科学