Dimension® Icon ™原子力显微镜以其优秀的图像分辨率，与布鲁克特有的电子扫描算法相结合，显著提升了测量速度与成像质量。Dimension® 系列大样品台原子力显微镜始终处于行业领先地位，配置温度补偿位置传感器，实现了Z 轴亚埃级和 XY 轴埃级的低噪音水平，将其应用在 90 微米扫描范围的大样品台体系上，使用效果甚至优于高分辨小样品台的开环噪音水平。全新设计的 XYZ 闭环扫描头，即使在较高的扫描速度工作时，也不会损坏图像质量，实现了更大的数据采集输出量，是研发新技术强大的助手。
主要应用：
1、 主要用于材料纳米级表面形貌、粗糙度的测量，同时还可以测试纳米材料的表面机械性能、电学、磁学和电化学等物理特性等；
2、 广泛应用于半导体、纳米材料、通讯、生物学、数据储存、食品、化学、地质、能源、环境等领域。
主要参数：
XY 方向扫描范围 |
90μm x 90μm（典型值），85μm（最小值） |
Z 方向扫描范围 |
10μm（典型值）， 9.5μm（最小值） |
纵向噪音水平 |
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XY 方向闭环噪音水平 |
≤ 0.15nm RMS 值（在典型的成像带宽条件下 ( 最高可达 625Hz)） |
XY 方向开环噪音水平 |
≤ 0.1nm RMS 值（在典型的成像带宽条件下 ( 最高可达 625Hz)） |
Z 方向闭环噪音水平 |
35pm RMS 值（在合适的环境，典型的成像带宽条件下 ( 最高可达 625Hz) 50pm RMS 值，力曲线带宽 (0.1Hz 到 5kHz) |
XYZ 三方向的非线性 |
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样品尺寸和固定方式 |
210mm 直径，真空吸附，≤ 15mm 厚 |
马达驱动样品台 (X-Y 轴 ) |
180mm × 150mm 可观测区域； 单向 2μm 重复性；双向 3μm 重复性 |
光学系统 |
5 百万像素数字摄像头；180μm 至 1465μm 可视区域 ; 数字化缩放，马达 驱动聚焦 |
控制器 |
NanoScope V |
防震台 |
可选气动式隔音防震平台 |
隔音体系 |
可工作在高达 85DBC 连续噪音环境中 |
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