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OPTM series 显微分光膜厚仪
使用显微光谱法在微小区域内通过绝对反射率进行测量，可进行高精度膜厚度/光学常数分析。
可通过非破坏性和非接触方式测量涂膜的厚度，例如各种膜、晶片、光学材料和多层膜。 测量时间上，能达到1秒/点的高速测量，并且搭载了即使是初次使用的用户，也可容易出分析光学常数的软件。
产品特点：
头部集成了薄膜厚度测量所需功能
通过显微光谱法测量高精度绝对反射率（多层膜厚度，光学常数）
1点1秒高速测量
显微分光下广范围的光学系统（紫外至近红外）
区域传感器的安全机制
易于分析向导，初学者也能够进行光学常数分析
独立测量头对应各种inline客制化需求
支持各种自定义
OPTM-A1 |
OPTM-A2 |
OPTM-A3 |
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波長范围 |
230 ~ 800 nm |
360 ~ 1100 nm |
900 ~ 1600 nm |
膜厚范围 |
1nm ~ 35μm |
7nm ~ 49μm |
16nm ~ 92μm |
测定时间 |
1秒 / 1点 |
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光斑大小 |
10μm (最小约5μm) |
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感光元件 |
CCD |
InGaAs |
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光源規格 |
氘灯+卤素灯 |
卤素灯 |
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电源規格 |
AC100V±10V 750VA（自动样品台规格） |
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尺寸 |
555(W) × 537(D) × 568(H) mm (自动样品台规格之主体部分) |
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重量 |
约 55kg（自动样品台规格之主体部分） |
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测量项目：
绝对反射率测量
多层膜解析
光学常数分析（n：折射率，k：消光系数）
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