OLS 5000作为奥林巴斯新一代3D测量激光显微镜的代表作，具有更加完善的功能和更为广泛的应用前景。它能够在不损伤样品、不做导电处理的前提下，对大尺寸样品实施非破坏性观察。整个扫描、成像、测量、报告工作过程仅需几秒至一两分钟即可完成，显著提升了检测工作的效率和安全性。该产品在半导体、平板显示、精密机械部件，电子器件、微机电系统、高精密电路板制造以及材料等领域有着非常广泛的应用前景。
产品优势：
捕捉任意表面形状
快速获得可靠数据
使用简单，只需放置样品并按一下按钮即可
可测量具有挑战性的样品
技术规格：
型号 |
OLS5000-SAF |
OLS5000-SMF |
OLS5000-LAF |
OLS5000-EAF |
OLS5000-EMF |
|
总倍率 |
54x - 17,280x |
|||||
视场直径 |
16um - 5,120um |
|||||
测量原理 |
光学系统 |
反射式共聚焦激光扫描激光显微镜 |
||||
反射式共焦激光扫描激光-DIC显微镜 | ||||||
彩色 | ||||||
彩色DIC | ||||||
光接收元件 |
激光：光电倍增管（2ch） |
|||||
彩色：CMOS彩色相机 | ||||||
高度测量 |
显示分辨率 |
0.5nm |
||||
Linear scale |
0.78nm |
|||||
动态范围 |
16 bits |
|||||
重复性*1 *2 *6 |
10x : 0.1μm, 20x : 0.03μm, 50x : 0.012μm, 100x : 0.012μm |
|||||
准确性*1 *3 *6 |
0.15 + L/100μm (L: Measuring length[μm]) |
|||||
拼接图像准确度 *1 *4 *6 |
10x : 5.0+L/100μm, 20x or higher : 1.0+L/100μm (L: Stitching height[μm]) |
|||||
测量噪声*1 *5 *6 |
1nm [Typ] |
|||||
宽度测量 |
显示分辨率 |
1nm |
||||
重复性 *1 *6 |
10x : 0.2μm, 20x：0.05μm, 50x : 0.04μm, 100x : 0.02μm |
|||||
准确度*1 *3 *6 |
测量值 +/- 1.5% |
|||||
拼接图像准确度 *1 *3 *6 |
10x : 24+0.5L μm, 20X 15+0.5L μm, 50X 9+0.5L μm, 100X 7+0.5L μm (L: Stitching length[mm]) |
|||||
单次测量时测量点的最大数量 |
4096 x 4096 pixel |
|||||
测量点的最大数量 |
36 Mpixel |
|||||
XY 载物台配置 |
长度测量模块 |
• |
无 |
无 |
• |
无 |
工作范围 |
100 x 100mm Motorized |
100 x 100mm Manual |
300 x 300 mm Motorized |
100 x 100mm Motorized |
100 x 100mm Manual |
|
最大样品高度 |
100mm |
40mm |
37mm |
210mm |
150mm |
|
激光光源 |
波长 |
405nm |
||||
最大输出 |
0.95 mW |
|||||
激光分类 |
2类 (IEC60825-1:2007, IEC60825-1:2014) |
|||||
彩色光源 |
白光 LED |
|||||
电气功率 |
240 W |
240 W |
278 W |
240 W |
240 W |
|
质量 |
显微镜主体 |
约31 kg |
约 32 kg |
约 50 kg |
约43 kg约 |
44 kg |
控制箱 |
约12 kg |
|||||
*1 在 ISO554(1976), JIS Z-8703(1983)规定的恒温恒湿环境下使用时提供保证 (温度: 20˚C±1˚C, 湿度: 50%±1%) 。
*2 在使用 MPLAPON LEXT系列物镜测量时.
*3 在使用专用LEXT物镜测量时.
*4 在使用20X或更高倍率专用LEXT物镜测量时.
*5.在使用MPLAPON100XLEXT物镜测量时的典型值
*6.基于奥林巴斯认证体系保证
尊敬的客户您好，
非常感谢您访问接触角测量仪_表界面张力仪__拉曼光谱仪__X射线衍射仪__X射线荧光光谱仪__纳米粒度仪厂家-广州贝拓科学技术有限公司官方网站，如果您有任何需求或者咨询都可以留言告诉我们，我们的客服将会尽快给您回复。