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布鲁克ContourGT-K 三维光学显微镜
ContourGT-K三维光学显微镜完善了表面测量和分析的新标准，这套测量系统拥有工业领先的测量性能和灵活性，采用专利白光干涉技术，超大视野内埃级至毫米级的垂直计量范围，具有业界最高的垂直分辨率和测量重复性。
主要应用
1、 用于较大范围的样品表面形貌、粗糙度、三维轮廓等特性的快速测量；
2、 广泛应用于半导体材料表面粗糙度、陶瓷基板的翘曲度、激光刻蚀痕迹、BUMP 三维结构、MEMS 器件关键尺寸、TSV 孔尺寸和精密机械加工部件等领域的测量。
主要参数
垂直量程 |
0.1nm 至 10mm（闭环无拼接） |
垂直分辨率 |
0.1nm |
电动样品台移动范围 |
±150mm (XY 轴 )/100mm(Z 轴 ),XYZ 三轴自动 |
横向取样间隔 |
0.1µm 至 13.2µm ( 由配备的 FOV 目镜和干涉物镜倍数决定 ) |
光学横向分辨率 |
最高 350nm |
台阶测试精度 |
0.75% |
台阶重复性 |
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倾斜调整 |
手动样品台调节 ± 6° |
垂直扫描速度 |
最快 47um / 秒，用户可自行设定 |
转塔调节 |
手动自动可选 |
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分析软件功能 |
可进行两维和三维分析，多区域自动分析（可对目标区域进行统计编号，可自动分析目标区域内高度或深度分布情况），可分析表面粗糙度，可分析样品表面缺陷及台阶高度， 并可对多次测量数据进行统计，得到详细的统计报告（含平均值，方差，最小值，最大值等）。可进行编程自动多点测量。可提供的数据包括高逼真度的三维图像，二维剖面图， 以及大量完整的表面粗糙度参数。 |
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