等离子体是物质的一种状态,也叫做物质的第四态,并不属于常见的固、液、气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。VPC100等离子表面处理系统就是通过利用等离子体的活性组分的性质来处理塑胶工件,金属基工件,陶瓷、玻璃等工件表面,从而实现清洁、改性等目的。
产品特点
不锈钢腔体,具有良好的耐用性
电极板上下可调,适应各种大小的样品
触摸按键,液晶显示屏+双浮子流量计精准控制,经济实用
结构稳定,密封性好
一键启停,人性化设计,简单易学
采用13.56MH射频电压,完成清洗去污的同时,还可以改善材料本身的表面性能
无材料二次污染和环境污染,效率大大提高
应用领域
半导体行业
晶圆/基板的清洗,引框线表面活化,
芯片和基板间改变表面活性以减少分层。
橡胶、塑料
通过表面处理,在材料表面形成一个活性层,
这样橡胶、塑料就能够进行印刷、粘合、涂覆等操作。
汽车行业
等离子处理后,不仅可去除表面的难挥发性油污,
而且可大大提高骨架表面活性。如仪表板、控制面板前处理。
电子行业
使手机外壳、耳机听筒、硬盘塑料件等
增加其表面活性,提高粘接效果。
医疗行业
等离子清洗机处理后的导尿管表面变滑,表面接触角减小,
表面无有害基团产生。如静脉输液器针座的表面处理。
技术指标
型号 |
VPC100M |
VPC100A |
VPC30M |
VPC30A |
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腔体材质 |
316不锈钢 |
6061铝腔 |
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容积 |
10L |
2.4L |
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电极板 |
平板水浴电极 |
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电极 |
专用铝电极,上下间距可调 |
专业铝电极,间距固定 |
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单次处理时间 |
工艺不同,处理时间不同,表面活化改性5~10min内 |
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工作真空度 |
20~60Pa |
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真空泵极限压力 |
0.5Pa(空载测试) |
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抽真空时间 |
≤ 40s |
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破真空时间 |
≤ 20s |
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等离子发生器 |
采用13.56MHz射频电源,功率0~300W可调, 射频电源和阻抗器模块化设计 |
采用13.56MHz射频电源,功率0~150W可调, 射频电源和阻抗器模块化设计 |
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供气方式 |
电磁阀式 |
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流量计控制 |
双浮子流量计 |
两路MFC质量流量控制器 |
单浮子流量计 |
一路MFC质量流量控制器 |
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流量计调节范围 |
0~300ml/min(可选) |
0~500ml/min(可选) |
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流量计精度 |
4% |
1% |
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操作方式 |
人工取放工件,一键启动自动控制 |
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