1. 共聚焦显微拉曼光谱系统主要部件：

整套系统需包含激光器，共聚焦显微镜，高灵敏度光谱仪，光栅，高端低噪音CCD探测器，分析软件等。

2. 主要功能：

拉曼光谱测试：可测量共聚焦显微拉曼光谱；

3 主要指标：

3.1 激光器： 

1）532nm TEM00单模激光器，50mW

2）638nm单模激光器，50mW

3）785nm单模激光器，100mW

4）*三激发波长全自动切换

3.2光谱仪与检测器系统:

1) 高灵敏度光谱仪焦长：300 毫米；

2) *光谱仪内采用全反射镜，光谱范围可覆盖200-1100nm；

3) *可以同时配备600,1200及1800刻线三块光栅，可实现软件控制全自动切换，无需手动更换光栅

4) 拉曼光谱范围：可覆盖100-5000cm-1；

5) 白光光谱: 在不转光栅条件下, 可一次型采集530 nm至800 nm全波段范围谱线，无转光栅接谱.

6) 光谱分辨率：优于2 cm^-1；

7) *光谱重复性：优于0. 05 cm^-1；

检测标准：在日常实验条件下，使用单晶硅，采用532 nm激发及100x物镜，重复100次，观察硅520 cm^-1拉曼峰位置的可重复性

8) *高灵敏度：能清晰地观察到硅的四阶拉曼峰，其中硅的三阶拉曼峰（约1440 cm^-1）信噪比好于20:1，要求无明显的N₂和O₂拉曼峰，N₂和O₂拉曼峰强不高于4阶峰;

检测标准：使用单晶硅片，激光波长532 nm，激光功率不超过10.0 毫瓦，，积分时间60秒，累积5次，显微镜镜头为100x

9) *光谱检测器：采用高端背照射CCD, 峰值量子效率>=90%, TE制冷至-60度.

3.3 共聚焦性能：

1) *真实针孔共聚焦系统：为了获得最佳的共聚焦效应，要求系统采用真正的针孔共聚焦，而非狭缝式的赝共聚焦。针孔大小可以自动连续调节10-100um。

2)*横向（XY方向）光学空间分辨率：使用100倍干物镜和共聚焦孔不小于50 mm时，拉曼成像横向光学分辨率：≤ 500 nm @ 532 nm，越高越好。

检测条件（需配置自动平台）: 以直径不超过50nm的一维纳米材料为样品(石墨烯完美边缘也可以，光栅样品不可接受), 以50 nm为步长沿垂直纳米材料方向做拉曼线扫描, 获得纳米材料拉曼强度的空间分布曲线，其强度变化曲线的半峰宽即为拉曼成像横向光学分辨率。 

5) *纵向（Z方向）空间分辨率（需配置自动平台）：使用100倍干物镜和共聚焦孔不小于50mm时，拉曼成像纵向光学分辨率：≤ 1000 nm@532 nm，越高越好。

检测条件: 以悬空的少层石墨烯为样品, 以50 nm为步长沿Z轴方向做拉曼线扫描, 使用100X物镜，获得石墨烯G峰拉曼强度的空间分布曲线，其强度变化曲线的半峰宽即为拉曼成像纵向光学分辨率

3.4 显微光路：

1) 光学显微镜采用科勒照明方式

2) 配备明暗场物镜：10倍物镜，50倍物镜（长工作距离），100倍物镜